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2020, v.6(06) 209-210

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半导体车间新风机组水洗喷淋加湿段选型探讨

陆晶;罗时钟;

摘要(Abstract):

半导体车间新风机组都会采用水洗喷淋加湿段,文章主要介绍了采用水洗喷淋加湿段的必要性、合适的水洗段用水水质、水洗段设置位置及选型参数,并分享了几点水洗段的节能措施,以供交流参考。

关键词(KeyWords): 空气分子污染;新风机组;水洗加湿;节能

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 陆晶;罗时钟;

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