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2017, v.3(10) 199

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浅谈三自由度精密定位工作台设计与制造工艺技术

陈天宇;

摘要(Abstract):

精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高低会影响产品生产质量。文章从设计理论基础入手,对三自由度精密定位工作台设计及工艺技术进行了分析,最后对定位工作台精度进行实验。

关键词(KeyWords): 三自由度;精密定位工作台;工艺技术

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 陈天宇;

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